CVD-SiC

CVD-SiC

Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide

碳化硅

本公司*的SiC产品以30多年来自主研发的CVD-SiC制作而成，具备超高纯度、高耐腐蚀性、高耐氧化性、高耐热性、高耐磨损性的特性，可应用于各种领域

* 长期致力于CVD-SiC产品的株式会社ADMAP，于2020年与Ferrotec Material Technologies Corporation（目前，Ferrotec Inc.）合并并变更公司名称，CVD-SiC业务全部由本公司承接。

主要用途

  • ・用于超高温退火装置大型部材开发（珪舟、刀柄、喷嘴）
  • ・开发窄间距卡式碳化珪舟
  • ・超高纯度SiC粉末原料
  • ・新一代硅片部件

特性表