Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)

真空シール

Magnetic Fluid Seal

磁性流体シール（フェローシール）

多機能フェローシール

同軸2軸タイプ

モデル CFF012NNタイプ
参考到達圧⼒ [Pa] 10-6
使用温度範囲 [℃] 室温〜80
使用雰囲気 活性ガス対応
ハウジング材質 SUS304
シャフト材質 SUS630
[特徴]
高い振れ、回転精度を実現する小型軽量のコンパクトタイプ。
[使用例]
ウェハー搬送真空ロボット（スカラータイプ）用途
性能値は、当社によるテスト結果あるいは計算値であり、
保証値ではありません。